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产品分类
产品简介
特点
● 良好的蜡层均匀性
- 提供良好的蜡层均匀性（蜡层厚度低于1um）
● 自动工位搬运功能
- 高加工节拍
- 减少等待时间（预加热功能）
● 晶片搬运（机器人）
- 自检测取片爪状态
- 对于薄片加工效果**
● FFU过滤器
- 提供正压工作条件
● 精准滴蜡装置
- 节省运行成本（分配精准的滴蜡量）
规格
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