奥美(郑州)智能设备有限责任公司
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产品详情
ASP-1300高精度四轴单面抛光设备
ASP-1300高精度四轴单面抛光设备的图片
参考报价:
面议
品牌:
奥美智能
关注度:
54
样本:
暂无
型号:
ASP-1300高精度四轴单面抛光设备
产地:
河南
信息完整度:
典型用户:
暂无
工作原理:
其他
主轴转速:
90
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认证信息
 
名 称:奥美(郑州)智能设备有限责任公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

产品简介

该系列设备是高精度四轴单面抛光设备,可选配铜盘、锡盘、不锈钢盘等,适用于多种半导体材料的高精密抛光,满足大批量产业化需求。

特点
 强大的结构
- 4 工位独立气缸加压,对所有4个工位进行精确的压力控制
-C型铸造主框架
 自动陶瓷盘定位系统
- 侧定位块气缸,配合中心定位装置
 优化的操作软件
- 5步骤控制压力、转速和时间参数,循环阶段阶梯式压力控制
 冷却系统:大盘和压力板
- 提供**的DMP/CMP温度条件
- 运行时保持压板的平坦状态,确保产品高精度的TTV
 DMP车刀装置
- 自修自面,确保良好的盘面平面度
- 优秀的直线丝杠导轨
 CMP抛光垫清洗装置
- 确保抛光垫保持**的CMP条件

规格



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